相變存儲器利用電脈沖誘導存儲材料在非晶態(tài)與晶態(tài)之間切換,具有非揮發(fā)性、循環(huán)壽命長、寫入速度快、穩(wěn)定性好、功耗低等優(yōu)點,被業(yè)界認為是下一代存儲技術的最佳解決方案之一。上海微系統(tǒng)與信息技術研究所聯(lián)合中芯國際集成電路制造有限公司,選擇以嵌入式相變存儲器(PCRAM)為切入點,在國家重點研發(fā)計劃納米科技重點專項、國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(02專項)、國家自然科學基金、中國科學院A類戰(zhàn)略性先導科技專項、上海市領軍人才、上海市科委等項目的資助下,經(jīng)過十余年的研究,在存儲材料篩選、存儲芯片設計、PCRAM的基礎制造技術等方面取得系列重要科技進展。